中英聯手攻關懸浮石墨烯傳感芯片

中英聯手攻關懸浮石墨烯傳感芯片

石墨烯具有優異的光學、電學、力學特性，在材料學、微納加工、能源、生物醫學和藥物傳遞等方面具有重要的應用前景，被認為是一種未來革命性的材料。石墨烯常見的粉體生產的方法為機械剝離法、氧化還原法、SiC外延生長法，薄膜生產方法為化學氣相沉積法(CVD)。

由于具有高導電性、高導熱性、高強度和獨特的二維結構，石墨烯成為新材料研發的熱點。8月21日，東旭光電副總裁、石墨烯事業部總裁馮蔚東博士表示，作為石墨烯發源地、全球石墨烯科研中心的英國曼徹斯特大學，將與東旭光電等合作，致力于懸浮石墨烯傳感芯片產品的研發和商業化應用推廣。

中國科學院院士、北京石墨烯研究院院長劉忠范說，懸浮石墨烯傳感器技術應用無論在學術界還在產業界均屬首例。雙方合作有望帶來開啟全球石墨烯產業化應用面向全新時代的標志性產品。

石墨烯高端應用在全球呈快速發展趨勢。美國、歐盟、日本等80多個國家皆將石墨烯材料發展提高到戰略高度，歐洲石墨烯旗艦計劃、韓國國家石墨烯計劃、新加坡國家石墨烯研究院等相繼實施和落地。我國作為全球石墨烯產業化發展最活躍的地區，已在涂料、采暖器和電熱膜等工業領域實現了石墨烯應用零的突破。

CVD（化學氣相沉積）法生產石墨烯是將碳原子沉積在特定基體上的一種生產單層石墨烯方法，但其具有轉移步驟成本高，導電率低的缺點。硅晶圓懸浮石墨烯技術是通過傳統半導體工藝，形成上表面為單層石墨烯薄膜的懸浮腔體陣列，最終形成硅晶圓表面的懸浮石墨烯陣列。

馮蔚東說，懸浮石墨烯傳感芯片技術為CVD石墨烯薄膜“分布”創造了獨特的解決辦法，使石墨烯能更好發揮其電學和力學性能。懸浮石墨烯傳感芯片技術在力學、溫度、濕度檢測以及傳感等領域將有廣闊的應用前景。

近年來，石墨烯產業產品布局已悄然變化。在2019年WMC世界移動通信大會上，石墨烯5G調制器、石墨烯寬帶成像設備等系列高端石墨烯應用悉數亮相，這些應用也意味著石墨烯從“工業味精”到“工業主角”、從輔材到主材的轉變，逐步成為不可替代的“超級材料”。

諾貝爾物理學獎得主、英國曼徹斯特大學教授康斯坦丁·諾沃肖洛夫說：“石墨烯在光電領域的應用是最令人興奮的事情之一，曼大與東旭光電的合作模式令人振奮，這將催生大量潛在應用場景。”

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