太陽能PECVD 石墨舟異常情況處理和日常維護

太陽能PECVD 石墨舟異常情況處理和日常維護

1，批次與批次之間不滿舟如何？不滿舟會有什么結(jié)果？
上一批不滿一舟用下一批次填滿，并分別記錄區(qū)分開來。
不滿舟進行工藝，沒有硅片的舟片上會沉積SIN膜，石墨舟物理性質(zhì)下降，會產(chǎn)生紅片，色差片等。
2，一區(qū)二區(qū)流程卡如何對接，數(shù)量如何確認(rèn)？
刻蝕通過傳送箱流入的合格品，當(dāng)場清點數(shù)量即可。
3，石墨舟工藝要求的清洗周期、刻蝕周期？預(yù)處理的方式有幾種不同？預(yù)處理不合格返工片多如何處理？
石墨舟運行120-150次需刻蝕，刻蝕滿6次需清洗
預(yù)處理方式預(yù)處理方式：
NEW BOAT PRZ 新舟插上硅片預(yù)處理
AFTETCH PRZ 舟刻蝕后沒插硅片預(yù)處理
AFTETCH PRZ 舟刻蝕后插硅片預(yù)處理
預(yù)處理后返工片多，加工藝時間，若還不行，需進行拆洗。
4，刻蝕、清洗、預(yù)處理的整個流程？
當(dāng)石墨舟運行120-150次：
滿6次刻蝕-拆洗-烘干-預(yù)處理
不滿6次刻蝕-刻蝕-預(yù)處理
5，色差片產(chǎn)生的幾種原因？
清洗、刻蝕工序減薄量不穩(wěn)定
石墨舟物理性質(zhì)下降（SIN沉積過多）
鍍膜時間不同
微波峰值不穩(wěn)定（設(shè)備原因）
6，色斑批片產(chǎn)生的原因？
硅片表面清洗不干凈
擴散間偏磷酸滴漏
清洗、刻蝕、風(fēng)刀沒吹干或堵塞
7，檢驗標(biāo)準(zhǔn)？（色差、色斑片的判定標(biāo)準(zhǔn)）
以QC為準(zhǔn)
8，每臺機的石墨舟配置標(biāo)準(zhǔn)？小車的配置是怎樣的？
每臺機石墨舟標(biāo)準(zhǔn)配置7個，為正常輪轉(zhuǎn)生產(chǎn)，小車配置4個。
9，為什么會出現(xiàn)舟漿分離？
石墨舟電極放反，SLS漿在爐管中較長時間未出，導(dǎo)致變形，檢查要到位，及時觀察。
10，鍍膜的整個過程。
工藝開始-充氮-進舟-漿降至低位-漿在低位退出-管內(nèi)抽真空并進行管內(nèi)壓力測試-通過高頻電源用NH3預(yù)清理和檢查-清洗管路-測漏-恒溫-高頻電源用NH3預(yù)清理-鍍膜-結(jié)束鍍膜-抽真空及測試壓力-清洗管路-將管內(nèi)剩余NH3、SH4抽走、防止與空氣接觸爆炸-充氮-漿在低位進入爐內(nèi)-SLS移至高位-退舟-結(jié)束工藝
12，備用舟的管理。
一條線總共20個舟，14個生產(chǎn)，6個備用，備用舟不使用時應(yīng)保存在相應(yīng)的石墨舟柜內(nèi)。
13，PECVD每條線每個班要求的產(chǎn)量，在制品要求的上下限，工藝允許在制品的等待時間是多長。另外要求刻蝕保證的在制品數(shù)量是多少。
產(chǎn)量13500，留絲網(wǎng)在制品4000PCS左右，刻蝕流入在制品1800PCS左右。
14，工藝重點參數(shù)
膜厚： 100nm 折射率： 2.0
鍍膜的好壞，一般情況下是根據(jù)膜的顏色來判斷的。正常膜面為淡藍色，當(dāng)膜偏厚時顏色會發(fā)白，偏薄時顏色會發(fā)紅
因PECVD制程只能通過調(diào)節(jié)時間來控制膜厚，所以膜面質(zhì)量的改善很大一部分需要從前站來改善。
絨面偏大時，膜的沉積速率變大，反之變小。
鍍膜時間偏長，膜面發(fā)白，鍍膜時間偏短，膜面發(fā)紅。
絲網(wǎng)印刷：
1，漿料的管理？
產(chǎn)線每天只領(lǐng)用一天的用量，由崗位專員根據(jù)產(chǎn)線的庫存提供領(lǐng)用量給物料員并開單，物料員負(fù)責(zé)領(lǐng)料交給崗位專員，崗位專員補齊現(xiàn)場本班的用量，然后將下一班的用量放在生產(chǎn)線存放區(qū)域，由陳普做賬
2，目前使用的有哪幾種漿料，分別攪拌時間？
目前使用的漿料有PV147銀漿（第三道），CN-334 462銀漿（第一道），也有PV141銀漿，但不用。鋁漿R*8（第二道）（6080-15Q；6080-15L現(xiàn)不用）如果突然絲網(wǎng)做到來料加工的片子，漿料如何使用？銀漿攪拌24小時以上，鋁漿攪拌半小時以上，攪拌速度要求。
3，各道印刷重量標(biāo)準(zhǔn)？
第一道：0.12±0.02g（共18個背電極） 第二道：1.5±0.12g 第三道：0.2±0.02g每瓶2KG，都是攪拌一瓶用一瓶，其中第一道兩天使用三瓶半；第二道每個班使用20瓶左右，第三道每天使用3瓶左右。陳普第二天發(fā)兩次，上午9點一次，下午16：00一次。
4，斷柵連柵的區(qū)別？
斷柵不超過六根或其中任何一根不超過兩毫米都屬于A級片和連柵的區(qū)別不大。
5，每個烘箱溫度？速度，時間。
共有58只托盤，轉(zhuǎn)一圈的時間都在10分鐘左右，必須大于8分鐘。
第一個烘箱的溫度分別為：100℃ 120℃ 140℃ 160℃
第二個烘箱的溫度分別為：140℃ 160℃ 180℃ 200℃
6，絲網(wǎng)印刷參數(shù)調(diào)整的允許范圍？
絲網(wǎng)間距： -1200 um~ -1500um
刮刀深度： -1300 um~ -1800um
壓力： 66-72N
印刷速度：200-240Sec
7，外加工不需要印刷STP時是如何實現(xiàn)的？封網(wǎng)漿的作用？如何去除封網(wǎng)漿。
將網(wǎng)版上的STP用封網(wǎng)漿堵實，封網(wǎng)漿的作用是封有漏洞的網(wǎng)板，即補網(wǎng)版，在網(wǎng)版干燥后使用，去除封網(wǎng)漿用清水擦拭即可。
8，松油醇的作用？為什么只在第三倒使用？
松油醇用來擦拭網(wǎng)版，第三道正電極經(jīng)常斷線（斷線分兩種，一種是網(wǎng)版上有異物，另一種是網(wǎng)版被漿料堵住，有網(wǎng)版經(jīng)常堵網(wǎng)，所以要使用松油醇，對漿料有很好的溶解作用），所以用來擦拭，第三道停下來超過3分鐘必須進行擦拭。松油醇主要是用來擦拭網(wǎng)版的，片子或斷柵，以及網(wǎng)版的清洗都是用乙醇。
9，斷線、粗點、虛印的產(chǎn)生原因、控制方法、檢驗標(biāo)準(zhǔn)？
第二道臺面不干凈，或網(wǎng)版上有干漿料掉在臺面上印刷烘干后引起的鋁粉會造成斷線，或第三道網(wǎng)板上有臟東西也會有斷線，網(wǎng)板張力不夠或參數(shù)調(diào)整會造成粗點，虛印。另外，第二道易干，如果不均易產(chǎn)生顆粒。控制方法：勤擦以面，多注意印刷質(zhì)量，合理調(diào)整參數(shù)控制，另外，5-10分鐘之間看一次印刷的效果，一次連續(xù)看5-10片。
10，壓版如何判定？如何避免？
出現(xiàn)同樣的碎片，或每四片有一片有一樣的隱裂可以判定為壓版。（對印刷后的片子中央及四周輕輕的敲擊，看有無異常，因為細(xì)小的壓版可能要到燒結(jié)后才能體現(xiàn)，這樣壓版的量是非常大的）避免：勤擦臺面，多注意上料的片子是否有碎片，臺面紙經(jīng)常更換，保持臺面平整。（碎片千萬不能掉進正在印刷的漿料中，那是最頭疼的事，也是最不容易被發(fā)現(xiàn)的）
11，網(wǎng)版使用壽命，領(lǐng)用注意事項？
第三道A版使用壽命為3萬，第一道B版10萬，第二道C版5萬，領(lǐng)用時注意型號不要領(lǐng)錯。（只針對156多晶），刮條與網(wǎng)版壽命同樣。
12，報廢后如何處理？
網(wǎng)板報廢后要有網(wǎng)板使用壽命單，對網(wǎng)版壽命不到就更換的需經(jīng)過工藝簽字。更換下來的網(wǎng)版（未到報廢要求的）如何處理？機器長時間不印刷如何進行預(yù)防漏漿操作，印刷模式需要如何更改？
13，燒結(jié)爐的溫度？速度，時間。
6個溫區(qū)：500℃ 520℃ 550℃ 570℃ 800℃ 802℃，根據(jù)片子厚度，工藝會做調(diào)整，速度為4600MM/MIN。
14，為什么漿料不能混用，會產(chǎn)生什么嚴(yán)重后果？（注意鏟刀、刮刀頭未清洗干凈不能混？）
漿料混用后會嚴(yán)重影響片子的電性能，轉(zhuǎn)換效率，所以漿料不能混用，鏟刀，刮刀頭每次都必須擦拭干凈。
15，要求PECVD到絲網(wǎng)的在制品數(shù)量是多少？
一般在4000-5000PCS左右，最少3000PCS，一般根據(jù)實際情況來看。絲網(wǎng)的產(chǎn)量平均每小時為1200-1380PCS左右，總產(chǎn)量要求每個班13000PCS，生產(chǎn)一個產(chǎn)品的時間為2.7S。
16，絲網(wǎng)印刷工序違規(guī)動作：
徒手不可接觸任何機器設(shè)備
上料盒托住底部
停機后才可以取片
不可徒手隨意打開設(shè)備，設(shè)備在維修時才可以打開
絲網(wǎng)下料，注意一次只可取一片
17，絲網(wǎng)印刷參數(shù)調(diào)整原則
印刷方式：
1. 不刮槳料交替印刷 2. 不刮槳料每片印刷兩次
3. 先印刷后刮槳料 4. 先刮槳料后印刷
網(wǎng)版：
網(wǎng)版間距：網(wǎng)版與印刷平臺之間的距離。（以印刷平臺為0參考點，平臺上方為負(fù)方向，網(wǎng)版正常停止時間距Spec: -3000um，印刷時間距Spec: -900~-1300）
網(wǎng)版間距調(diào)整原則：在保證質(zhì)量的前提下，網(wǎng)版間距越小越好，太小易沾版或模糊不清。太大易印刷不良和損壞網(wǎng)版。
刮條：
刮條深度： 刮條印刷時使網(wǎng)版面下降的距離。（以網(wǎng)版面為0參考點，網(wǎng)版下方為負(fù)方向。網(wǎng)版正常停止時的位置
Spec: 5000um,印刷時的位置為：Spec: -900~-1300um）。
刮條深度和壓力（Spec:50~70N）調(diào)整原則： 在保證印刷質(zhì)量的原則下，刮條下降深度與壓力越小越好，刮條下降過深或壓力太大，易碎片和損壞網(wǎng)版，刮條下降深度不夠或壓力太小易印刷不良或沾版。
印刷速度：150~300mm/s 刮槳料速度： 450mm/s
絲網(wǎng)印刷時遵循以下原則：
刮條壓力&刮條深度與槳料下漏量成反比，
絲網(wǎng)間距&刮條速度與槳料下漏量成正比。
18，各種流程的作用及常見異常
絲網(wǎng)印刷是通過刮條擠壓絲網(wǎng)彈性形變后將漿料漏印在需要印刷的材料上的一種印刷方式。
1. 背電極印刷
背電極作用：用于組件時焊接用。
125硅片有2根背電極， 156硅片有3根背電極，其中多晶為分段類型的，而單晶為整條類型的，更換網(wǎng)版時必須校正網(wǎng)版位置，使兩側(cè)的背電極距離Si片邊緣基本相同.
2. 背電場印刷
作用： 鈍化硅本體，提高電池開路電壓（在工藝范圍之內(nèi)，背電場越厚越好）
常見異常：
A. 鋁珠：
如果是因為燒結(jié)所致，就調(diào)節(jié)3、4區(qū)溫度；但若是鋁珠分布在履帶頂針?biāo)闹埽煽紤]是否為履帶過臟，或是頂針磨損所致，此時需要清洗履帶，嚴(yán)重時可以考慮更換履帶；另外，鋁珠的產(chǎn)生也可能是由于二道印刷過厚導(dǎo)致，那么可以在不影響電性能的情況下，減輕二道印刷重量。
B. 鋁苞：
a. 前道清洗減薄量大，使絨面過大，易產(chǎn)生鋁苞。
b. 背電場印刷的太薄，剛換過網(wǎng)版未及時控制好背場印刷重量，易產(chǎn)生鋁苞，此時只需控制好印刷參數(shù)和印刷重量就可以解決。
c. 網(wǎng)版的小洞破損導(dǎo)致鋁苞。看洞的破損情況，如果可以用膠帶修補，且試做OK后可正常生產(chǎn)，若修補無效須更換網(wǎng)版.
d. 粘板：三個參數(shù)同時增大，降低速度
3. 正電極印刷
作用： 收集電流
156硅片副柵線有78根，主柵線有3根
125硅片副柵線有62根，主柵線有2根
注意事項：
正電極需返工的硅片，在擦拭后應(yīng)該正面對正面疊放。正反面一起疊放時背電場鋁槳會粘到正電極上，從而影響轉(zhuǎn)換效率.
常見問題：
A：斷線：當(dāng)網(wǎng)版被堵時，槳料無法下漏所至，只需擦拭網(wǎng)版即可
B：虛印：增大壓力，刮刀深度，降低絲網(wǎng)間距
C：粗點：加大絲網(wǎng)間距，減小刮刀深度和壓力，加大印刷速度。刮刀剛下去粗點，減小刮刀深度。刮刀剛上去粗點，加大絲網(wǎng)間距。
4. 烘干爐
作用：去除槳料中的有機物質(zhì)。
5. 燒結(jié)爐
作用： 讓上下電極行成良好的接觸，提高轉(zhuǎn)換效率。
爐內(nèi)氣氛是在N2的保護情況下進行燒結(jié)的，燒結(jié)溫度主要是通過影響RS&RSH來提高轉(zhuǎn)換效率的.
常見問題：
a. 燒結(jié)不透：將主燒結(jié)區(qū)5、6區(qū)溫度適當(dāng)加大3度左右，測試后看電性能，如果沒有達到理想的燒結(jié)效果可對其進行再優(yōu)化。
b. 燒穿：根據(jù)燒結(jié)后的測試數(shù)據(jù)，降低燒結(jié)5、6區(qū)溫度，然后再進行測試，直到燒結(jié)正常。